1) Entwicklung und Realisierung eines Mikrotechnologiepraktikums
Projektleitung:
Prof. Dr. sc. nat. K.-P.
Möllmann,
Mitarbeit: Dr. rer. nat. F. Pinno, Dr. rer. nat. T. Trull
S. Wolf
Partner/Kooperation: Siemens Technik Akademie Berlin
Laufzeit: 18.06.-25.06.2001
Finanzierung: Siemens Technik Akademie
Projektbeschreibung:
Die
Siemens Technik Akademie Berlin bildet Industrietechnologen für „Mechatronische
Systeme“ aus. Die Mehrzahl der Absolventen dieser Richtung findet ihren
späteren Einsatz im Bereich der Mikroelektroniktechnologie, insbesondere bei
Infineon Technologies in Dresden. Aufgrund dieser Ausrichtung und der stetig
wachsenden Bedeutung von Mikrotechnologien wurde 2001 im Rahmen eines Projekts mit der Fachhochschule Brandenburg das
Konzept einer Mikrotechnologieausbildung entwickelt und erstmalig umgesetzt.
Projektergebnisse:
Im
Praktikum zur Mikrotechnologie an der Fachhochschule Brandenburg werden die in
der Theorieausbildung erworbenen Kenntnisse durch jeden einzelnen Studierenden
in nahezu allen technologischen Grundprozessen angewendet und durch eigenen
technologische Arbeit vertieft, ohne dabei anzustreben, Funktionsbauelemente zu
fertigen. Dabei wird ganz klar das Ziel
einer großen Nähe zu den Prozessen, im Sinne „Mikrotechnologie praktisch
erleben“, verfolgt.
Im
Rahmen der praktischen Arbeit, die in Gruppen mit 3-5 Studierenden erfolgt,
führt jeder Studierende die technologischen Prozesse zur Erzeugung von
Strukturen bis zu einer minimalen Grösse von 1/1000 mm und Erzielung von
Strukturgenauigkeiten im Bereich von 1/10000 mm an einem eigenen Siliziumwafer
durch. An den erzeugten Mikrostrukturen ist damit für jeden Studierenden die
Qualität seiner Arbeit erkennbar. Dies motiviert die Studierenden sehr stark für
eine engagierte und sehr genaue Arbeit. Der Technologieprozess wird dabei in
der logischen Reihenfolge durchlaufen. Zu Beginn erfolgt der Maskenentwurf mit
Möglichkeiten zur individuellen Gestaltung des Layout. Danach werden mit Hilfe
der Dünnschichttechnologie isolierende und metallische Schichten auf dem Wafer
abgeschieden und im nachfolgenden Photolithographie- und Ätzprozess
strukturiert. Die Arbeit im Technologieprozess wird dabei durch Versuche zur
Reinraumtechnolgie mit dem Ziel ergänzt, dass die Studierenden Fehlereinflüsse
z.B. durch Staubpartikelgeneration auf dem Wafer während des Prozesses in
Abhängigkeit von der Reinraumklasse oder Verwendung von Wasser
unterschiedlicher Reinheit im Technologieprozess vermittelt werden.
Die
Studierenden bewerten den Erfolg und analysieren Fehlerursachen einzelner
technologischer Schritte durch die Anwendung prozessbegleitender Messtechniken
an einem zusätzlich selbst erzeugten Prozesswafer.
Das
Programm der praktischen Ausbildung wird durch eine eintägige exemplarische
Vertiefung in einem speziellen
technologischen Grundprozess im Rahmen eines Wahlpflichtversuchs für jede
Gruppe abgerundet.
Die
erzielten Ergebnisse werden durch die Studierenden aufbereitet und im Rahmen
einer Projektpräsentation am Ende des Praktikums vorgestellt.
2) Weiterentwicklung von Geräten zur emissionsgradkompensierten
Temperaturmessung an Metalloberflächen
Projektträger: VIR[*]-Projekt der EU,
Raytek GmbH
Projektleitung:
Prof. Dr. sc. nat. K.-P.
Möllmann
Mitarbeit: Prof. Dr. sc. techn. H. Loose, Dipl.-Phys. N. Lutz,
Dr. rer. nat. F. Pinno
Partner/Kooperation: IiFE a. d. FHB
Raytek GmbH Berlin
VAW
aluminium AG, Bonn
Corus, Ijmuiden, Niederlande,
Pechiney, Frankreich
Laufzeit: 01.09.2001 – 28.02.2002
Finanzierung: Raytek GmbH
Projektbeschreibung:
Die
genaue Kenntnis der Temperatur während der Herstellung und Verarbeitung von
Aluminium und Aluminiumlegierungen ist von besonderer Bedeutung, da wichtige
Werkstoffeigenschaften durch die thermische Behandlung bestimmt werden.
Aufgrund hoher Geschwindigkeiten im Verarbeitungsprozess (bis 200 km/h bei
Bandprozessen) ist eine berührungslose Temperaturmessung notwendig. Im Rahmen
des Projekts wurde eine emissionsgradkompensierte, radiometrische Messung der
Oberflächentemperatur entwickelt.
(siehe
auch wissenschaftlichen Beitrag „Radiation Thermometry on Aluminium“)
Projektergebnisse:
Im
Rahmen des Projekts wurde ein Stand bei der Entwicklung von Geräten zur
emissionsgradkompensierten Temperaturmessung an Metalloberflächen erreicht, der
eine Messgenauigkeit der Temperaturmessung von + 2 Grad im
Temperaturbereich 70 – 2000C
und von + 10 Grad im Temperaturbereich 200 – 5000C bei
Emissionsgraden > 0,02 ermöglicht.
Die
Ergebnisse dieses Projekts wurden auf der Hannover-Messe 2002
präsentiert.
3) EDWARD - Etching, Deposition, Wiring
- Application
Research
for new Devices”
Projektträger: AiF, FUEGO, iris GmbH Berlin
Projektleitung:
Prof. Dr. sc. nat. K.-P.
Möllmann
Mitarbeit: Dr. rer. nat. T. Trull, Dr.
rer. nat. F. Pinno
S. Wolf
Partner/Kooperation: iris GmbH Berlin
Laufzeit: 01.01.2001 – 31.12.2002
Finanzierung: FUEGO, iris GmbH
Projektbeschreibung:
Die
iris-GmbH entwickelt und fertigt thermische Infrarotdetektoren für den
Spektralbereich 8-14 µm. Diese Detektoren werden in Sensoren für die
Personenzählung und Türraumüberwachung
eingesetzt. Die verwendeten Detektoren
verfügen über 6-8 pyroelektrische Infrarotelemente. In den Detektor ist eine
einfache Abbildungsoptik integriert.
Es
gibt verschiedene thermische Infrarot-Empfängertypen. Allen gemein sind einige
Grundsätze für das Erreichen hoher Signal-Rauschverhältnisse (charakterisiert
durch die spezifische Nachweisempfindlichkeit oder .Detektivität) Die
IR-Empfängerelemente müssen eine geringe thermische Masse und eine geringe
thermische Kopplung mit ihrer Umgebung aufweisen.
Mit
dem Projekt EDWARD will sich die iris GmbH in Kooperation mit der FHB die
Grundlagen
der
Erzeugung von Absorptionsschichten und dreidimensionaler
Strukturierungsverfahren für eine neue Generation von thermischen
Infrarotsensoren erarbeiten. Die FH Brandenburg bietet der iris-GmbH eine
geeignete technologische und wissenschaftliche Basis: Hierwurde im Fachbereich
Technik im Studiengang Physikalische Ingenieurwissenschaften in den vergangenen
Jahren der Bereich Vakuumbeschichtung und
Fotolithografie mit dem Ziel geschaffen, um sowohl in der Lehre als auch
für die angewandte Forschung und Entwicklung wesentliche Beiträge leisten zu
können. Im Rahmen des Projekts wurde Herr Dr. rer. nat. T. Trull für die
Projektlaufzeit an die FHB delegiert.
Projektergebnisse:
Mit dem Projekt wurden
technologische Vorarbeiten geleistet und verwertbare Resultate erzielt, die es
ermöglichen, neue hochsensitive IR - Strahlungsbolometer zu entwickeln.
So konnten
Absorberschichten auf der Basis von Interferenzschichten realisiert werden, die
zu einer deutlichen Empfindlichkeitssteigerung von IR – Strahlungssensoren
führen, ohne die Zeitkonstante negativ zu beeinflussen.
Mit der
Entwicklung eines anisotropen nasschemischen Ätzverfahrens konnte eine
dreidimensionale Si – Strukturierung entwickelt werden. Im Ergebnis konnten
spannungsfreie SiO2 – Schichten mit einer Dicke von 500nm als
Membranen, die über 16µm breite, freistehende SiO2 - Streifen mit
dem Substrat verbunden sind, erzeugt werden. Damit sind wesentliche
technologische Voraussetzungen für die Entwicklung von hochsensitiven
Mikrobolometern erreicht worden.
4) Methodikqualifizierung für analytische Untersuchungen“
Projektleitung:
Prof. Dr. sc. nat. K.-P.
Möllmann,
Mitarbeit: Dr. rer. nat. T. Trull
Partner/Kooperation: Gesellschaft für Umweltforschung und
–Analytik mbH Berlin
Laufzeit: 01.04. – 30.06.2000
Finanzierung: Gesellschaft für
Umweltforschung und –Analytik mbH Berlin
Projektbeschreibung:
Die GUT – Analytik
führt analytische Untersuchungen im Bereich der
Infrarot-fouriertransformspektrometrie durch. Im gemeinsamen Vorhaben wurden
Fragestellungen zur weiteren Methodikqualifizierung bearbeitet. Im Mittelpunkt
standen dabei:
-
spektrale
Auflösung und Nachweisempfindlichkeit,
-
Einsatz von
ATR-Techniken in der Analyse,
-
Auswahl von
Materialien für ATR-Kristalle.
Projektergebnisse:
Die
Projektergebnisse wurden vom Industriepartner direkt in die analytischen
Untersuchungsmethoden eingearbeitet.
5) Maximierung der Absorption im Bereich des MIR“
Projektträger: ASI GmbH Berlin
Projektleitung:
Prof. Dr. sc. nat. K.-P.
Möllmann
Mitarbeit: S. Wolf
Partner/Kooperation: ASI GmbH Berlin
Laufzeit: 01.09.2001 – 30.11.2001
Finanzierung: ASI GmbH
Projektbeschreibung:
Pyroelektrische
Strahlungsdetektoren auf der Basis von LiTaO3 ohne Absorberschicht
zeigen einen grossen Empfindlichkeitsverlust (grösser 50 %) infolge der
Reflexionsverluste. Daraus ergab sich das Ziel des Projekts, die Maximierung
der Absorption im Bereich 5 – 20 µm Wellenlänge durch ein
Absorberschichtsystem.
Im
Projekt wurden über Simulationsrechnungen optimale Schichtsysteme bestimmt. So
erwies sich ein Mehrfach- Interferenzschichtsystem auf der Basis von Cr/CrN/ZnS
bzw. SiO2 als besonders vielversprechend.
Im
Rahmen technologischer Untersuchungen wurden solche Schichtsysteme erzeugt und
bezüglich der spektralen Infrarotreflexion bewertet. Mit den Ergebnissen der
Reflexionsuntersuchungen erfolgte eine Optimierung der
dünnschichttechnologischen Prozesse.
Projektergebnisse:
Im Ergebnis der technologischen
Schichtsystemoptimierung konnten Schwarzschichten mit einer Absorption von 98%
bei der Zielwellenlänge von 10µm reproduzierbar erzeugt werden. Mit den im
Projekt entwickleten Schwarzschichten, wurden pyroelektrische Detektoren
aufgebaut. Dabei konnte für Detektoren bei 10 µm eine verdoppelte
Empfindlichkeit bei gleicher Zeitkonstante und für empfindliche Detektoren im 8
– 14 µm Spektralbereich ein um 20% höhere Empfindlichkeit nachgewiesen werden.
6) Ellipsometrische und spektrometrische Bewertung von beschichteten Proben
Projektträger: ASI GmbH Berlin
Projektleitung:
Prof. Dr. sc. nat. K.-P.
Möllmann
Mitarbeit: S. Wolf
Partner/Kooperation: ASI GmbH Berlin
Laufzeit: 01.09.-31.10.2001
Finanzierung: ASI GmbH
Projektbeschreibung:
Im Rahmen von
technologischen Schicht- und Schichsystementwicklungen wurden ellipsometrische
und spekrometrische Messungen im UV-VIS-NIR und MIR durchgeführt.
Projektergebnisse:
Die Ergebnnisse der Analysen, insbesondere der
Transmission und der Reflexion vom UV-Bereich bis in das MIR (bis 25µm
Wellenlänge) führten zu einer Optimierung der Schichtsysteme hinsichtlich der
Dicke der Einzelschichten, der Prozessparameter bei der Abscheidung der
Schichten und fanden somit direkten Eingang in die technologischen
Entwicklungsarbeiten des Kooperationspartners.
7) Einsatz infrarotspektrometrischer Methoden zur on-line Analyse von
Kalkablagerungen in wasserführenden Rohrleitungen (Stichwort:
Verkalkungsmonitoring)“
Projektleitung:
Prof. Dr. sc. nat. K.-P.
Möllmann,
Mitarbeit: Dr. rer. nat. T. Trull, Dr.
rer. nat. H. Bittner
Partner/Kooperation: GUT Analytik GmbH Berlin, G.E.R.U.S. mbH
Berlin
Laufzeit: 01.09.1999 – 28.02.2001
Finanzierung: Verbundforschungsförderung
des MWFK, Land
Brandenburg; HSPIII
Projektbeschreibung:
Kalk
in Rohrleitungen macht diese wegen der zunehmenden Querschnittsverengung mit
der Zeit unbrauchbar. Die dadurch verursachten Schäden an Rohrleitungsnetzen
sowie an allen daran angekoppelten Aggregaten sind enorm hoch. Zur Verhinderung
dieser Verkalkung wurden und werden Geräte zur physikalischen Wasserbehandlung
entwickelt. Deren Wirkung und Nutzen können bisher aber nicht quantitativ
erfasst werden. Die im Projekt verfolgte Idee eines Messverfahrens besteht
darin, dass sich der abscheidende Kalk gleichermaßen auch auf einer kleinen
Testfläche abscheidet, die permanent optisch-spektroskopisch und ohne Störung
des Betriebs überwacht wird. Ziel des
Projekts war somit die Entwicklung und Erprobung eines Messverfahrens mit FTIR
– ATR – Technik. Dabei wurden folgende Fragestellungen untersucht:
-
Ermittlung von geeigneten Messparametern für Kalk, insbesondere CaCO3,
-
Prüfung der Machbarkeit eines auf der Technik der „Abgeschwächten
TotalReflexion“ (ATR) basierenden Infrarot- Messverfahrens
-
Festlegung und Durchführung von Basisexperimenten, die die Eignung des
Verfahrens für ein Verkalkungsmonitoring eindeutig beweisen.
Die
ursprüngliche Zielstellung, mit dem entwickelten Messverfahren Geräte zur
physikalischen Wasserbehandlung zu testen, konnte nicht erreicht werden, da das
Projekt aufgrund der drastischen Kürzung der Verbundforschungsmittel nur im
Jahr 1999 gefördert wurde. Im Jahr 2000 standen nur 25% der ursprünglich
geplanten Mittel für die Projektbearbeitung aus HSPIII zur Verfügung. Trotz der
äusserst vielversprechenden Ergebnisse konnte deshalb das Ziel, die Voraussetzungen
für eine Geräteentwicklung zu schaffen, im Projekt nicht erreicht werden. Die
notwendige Reduzierung der Projektziele führte zu einem von den KMU nicht
tragbaren wirtschaftliche Risiko für eine Geräteentwicklung.
Projektergebnisse:
Im
Rahmen des Projekts konnte die Eignung des Messverfahrens nachgewiesen werden.
Der Bereich der asymmetrischen 3
- C-O-Streckschwingungsbande kann für ein empfindliches Messverfahren dünnster
Kalkschichten mit Dicken vom Submikrometerbereich an aufwärts ohne Störung durch
Wasser genutzt werden. Denkbar ist eine Ausprägung der Apparatur als ein
nichtdispersives ATR-Photometer mit einem einfachen pyroelektrischen 2-
Kanaldetektor. Im Quotientenverfahren misst Kanal 1 die Reflexion im
Wellenzahlebereich der 3 – Bande von ca. 1565 – 1320 cm-1
und ein Kanal 2 die reflektierte Intensität in einem nahen absorptionsfreien
Spektralbereich , z.B. zwischen 2750-2500 cm-1. Die Spektralbereichsselektion
erfolgt durch Schmalbandfilter mit relativ geringen Anforderungen an ihre Halbwertsbreite,
die bei 10 % der wellenlänge mit maximaler Transmission liegen kann. Als
ATR-Element kann ein Germaniumkristall mit etwa 4-10 Reflexionen verwendet
werden.
8) Untersuchungen zu thermischen Reflexionen und Emissionsgradstandards für die Thermographie (aFuE)
·
Projektleitung: Professor Michael Vollmer, Prof. Klaus-Peter Möllmann
·
Mitarbeit: F. Pinno, N. Lutz, D. Karstädt, S. Henke
·
Programm: Angewandte Forschung und Entwicklung an Fachhochschulen
(aFuE)
·
Laufzeit 01.02.2003. bis 31.10.2004, Abschlussbericht fällig zum
30.4.2005
·
Projektbeschreibung
Gesamtziel
des Vorhabens war es einerseits, eine Methode zur schnellen und sicheren
Charakterisierung von thermischen Reflexionen in der Thermographie zu
entwickeln und andererseits Emissionsgradstandards zu entwickeln bzw. zu
charakterisieren, welche ggf. zur Eichung von in der Praxis verwendeten
Sekundärnormalen (Lacke etc.) eingesetzt werden können.
·
Projektergebnisse
Im ersten Teilprojekt wurden erfolgreich Methoden
entwickelt, um eine Unterdrückung thermischer Reflexionen in der Praxis zu
realisieren (vergl. wiss. Beitrag).
Im zweiten Teilprojekt wurden
Emissionsgradstandards projektiert, hergestellt und vermessen. Die
experimentell ermittelten Eigenschaften wurden mit den theoretischen
Erwartungen verglichen. Eine endgültige Bewertung beider Teilprojekte wird im
Abschlußbericht erfolgen.
·
Projektleitung: Professor Michael Vollmer, Prof. Klaus-Peter Möllmann
·
Finanzierung : HBFG
und EFRE
·
Die Anschaffung
des beantragten Großgeräts UV-VIS-NIR Spektrometer Lambda 900 mit Zubehör der
Firma Perkin Elmer erfolgte im November 2003.
.
·
Projektbeschreibung
Die Anschaffung des Gerätes sollte zum einen technologische Forschungsarbeiten
der Arbeitsgruppe hinsichtlich einer die Bedampfungstechnik begleitenden
Analytik überhaupt erst möglich machen sowie vorhandene Analytik wesentlich
verbessern. Zum anderen wird während des Studiums der Physikalischen Technik an
der Fachhochschule Brandenburg optische
Spektralphotometrie in vielen Bereichen der Lehre eingesetzt. Dies war bislang
nur sehr eingeschränkt für den sichtbaren Spektralbereich möglich. Aufgrund der
Modularität des Probenraums können mit dem beantragten Gerät sowohl
Transmissions- als auch Reflexionsmessungen unter variablen Winkeln
durchgeführt werden.
·
Projektergebnisse
Im
Bereich der Dünnschichttechnologie hat sich das neue UV-VIS-NIR Gerät in
hervorragender Weise bewährt. Bislang wurden u.a. Reflexions- und
Transmissioneigenschaften dünner aufgedampfter Schichten sowie wafer analysiert.
Deren Eigenschaften wurden in Laborpraktika vor der Bedampfung auch berechnet,
so dass ein direkter Bezug zwischen Simulation, Aufdampfprozess und Analytik
erfolgte. Es ist geplant, das Gerät ggf.
zu einem spektroskopischen Ellipsometer aufzurüsten.
10) Thermische Empfänger für eine Aktiv – Passiv –
Technologieanwendung (APTA)
·
Projektleitung: Prof. Klaus-Peter Möllmann
Ergebnisse des Projekts waren die Erarbeitung von
Beiträgen zum Entwurf und der Optimierung von Teststrukturen sowie zur
Realisierung und Bewertung von Teststrukturen für thermische
Strahlungsempfänger.
11) Mikrobolometerstrukturen
Im Rahmen des Projekts wurden IR-Absorberschichtsysteme
für Bolometer, SiO2-Schichten für die mikrotechnologische
Membranfertigung sowie Kontaktmetalle für die Bolometerkontaktierung entwickelt
und optimiert. Darüber hinaus wurden der Temperaturkoeffizient des elektrischen
Widerstands der Bolometerstruktur und die Kontaktwiderstände messtechnisch
charakterisiert. Die Ergebnisse sind unmittelbar in die laufende
Mikrobolometerentwicklung der iris GmbH eingeflossen.
12) MANO – Mikrosystemtechnikausbildung in
Nordostdeutschland
Ziel des geförderten regionalen Netzwerks „MANO“ ist
das Vorantreiben und die Verbesserung der Aus- und Weiterbildung auf dem Gebiet
der Mikrosystemtechnik.
Die FH Brandenburg hat im Rahmen des Projekts
praktische Ausbildungsmodule für Aus-
und Weiterbildung im Bereich der Mikrotechnologie entwickelt und praktisch
erprobt (mit Studenten der FH, Studierenden der Siemens Technik Akademie und
Umschülern „Mikrotechnologie“ der Siemens AG. Darüber hinaus wurde die
Konzeption für ein postgraduales, weiterbildendes Masterstudium als duales
Angebot mit der regionalen Industrie entwickelt. Der Studiengang soll
kooperativ im Verbund mit dem Netzwerkpartner FHTW Berlin durchgeführt werden.
Ein entsprechender Antrag zur Förderung der Schaffung eines
Qualifizierungsverbundes zur Einrichtung eines dualen Modellstudiengangs
„Master of Microsystems Engineering“ wird beim BMBF im 1. Quartal 2005
gestellt. Der Start dieses Studiengangs ist zum Sommersemester 2006 geplant.
13) Temperaturmessung an hochreflektierenden
Leichtmetalloberflächen – New ART
Ziel des Projektes war die Entwicklung eines
Messsystems zur berührungslosen Temperaturmessung an hochreflektierenden
Leichtmetalloberflächen im Rahmen eines durch die EU geförderten Projektes im
Verbund mit führenden europäischen Aluminiumproduzenten (siehe wiss. Beitrag im
Forschungsbericht 2000-2002, S. 41)
Das Projekt wurde mit Tests des entwickelten
Messystems unter industriellen Bedingungen erfolgreich abgeschlossen. Die
erzielten Ergebnisse werden in eine Geräteentwicklung bei der Raytek GmbH
einfliessen.
·
Projektleitung: Prof. Dr. sc. nat. Klaus-Peter Möllmann, Prof. Dr. rer.
nat. habil. Michael Vollmer
·
Mitarbeit: Dr. rer. nat. F. Pinno, Dipl.-Ing (FH) D. Karstädt
·
Projektbeschreibung
In Fortführung eines aFuE
Forschungsprojekts (Abschlussbericht erfolgte zum 30.4.2005, vergl.
Forschungsbericht 2003-2004) wurden diverse kleinere Projekte im Bereich der IR
Bildgebung durchgeführt. Gesamtziel aller Vorhaben war es verbesserte Methoden
zur sicheren Charakterisierung von Infrarotbildern in der Thermographie zu
entwickeln.
Ende 2005 wurde ein HBFG-Antrag für die Einrichtung eines Nah-IR-Messplatzes
gestellt.
·
Projektergebnisse (siehe auch Forschungsbericht 2003-2004)
Es wurden erfolgreich Methoden entwickelt, um den
Einfluss diverser kritischer Einflussgrößen in der Thermographie zu
untersuchen. Hierzu zählen ein genaues Verständnis der räumlichen und
thermischen Auflösung, das Verhalten bei kritischen Applikationen wie die
Probleme bei hochreflektierenden Materialien und auch der Einfluss von Gasen
auf Messergebnisse (vergl. Publikationsliste). Der Erfolg zeigt sich u.a. in
der wiederholten Einladung zu Vorträgen auf internationalen Tagungen (DFG
geförderte Reisen).
15) Mikrobolometer
·
Projektleitung:
Prof. Dr. sc.
nat. Klaus-Peter Möllmann
·
Mitarbeit: Dr.
rer. nat. T. Trull (Drittmittel), Dr. rer. nat. F. Pinno, S. Wolf
·
Projektträger/Partner/Finanzierung:
iris GmbH Berlin
·
Laufzeit: 03/05
– 12/06
·
Projektbeschreibung
und –ergebnisse:
Im Rahmen des Projekts wurden
Beiträge zur Entwicklung des technologischen Fertigungsprozesses für
Mikrobolometer auf der Basis von Silizium-Volumenmikromechanik erbracht. Mit
ersten Funktionsmustern konnte die prinzipielle technologische Realisierbarkeit
nachgewiesen werden.
16) MANO-Mikrosystemtechnikausbildung in
Nordostdeutschland
·
Projektleitung
(Teilprojekt FHB): Prof. Dr. sc. nat. Klaus-Peter Möllmann
·
Mitarbeit:
Dipl.-Phys. N. Lutz, Dr. rer. nat. F. Pinno, S. Wolf
·
Projektträger/Partner/Finanzierung:
BMBF
·
Laufzeit: 12/02
– 12/05
·
Projektbeschreibung
und –ergebnisse:
Im Rahmen des Teilprojekts der Fachhochschule Brandenburg wurden
Lehrmodule für die Aus- und Weiterbildung im Bereich Mikrotechnologie
entwickelt und erprobt. Im Rahmen einer Weiterbildung an der FHB wurden Lehrer, die als Multiplikatoren die
Mikrosystemtechnik stärker in die Schulen tragen sollen, an der FHB
qualifiziert. Gemeinsam mit anderen Netzwerkpartnern wurden die Möglichkeiten
für einen kooperativer, postgradualer
und weiterbildender Masterstudiengang
„Microsystems Engineering“ für die Netzwerkregion analysiert.
17) Charakterisierung von Mikrobolometern
·
Projektleitung:
Prof. Dr. sc.
nat. Klaus-Peter Möllmann
·
Mitarbeit: Dr.
rer. nat. T. Trull (Drittmittel), S.
Wolf
·
Projektträger/Partner/Finanzierung:
Raytek GmbH
·
Laufzeit: 12/05
– 12/06
·
Projektbeschreibung
und –ergebnisse:
Gemeinsam mit der
Raytek GmbH wurden Verfahren zur Bewertung von Sensorparametern technologisch realisierter
Mikrobolometer entwickelt und erprobt.
18) Taktiles Profilometer Dektak 8 und
optisches Profilometer NT 1100 von VEECO
·
Projektleitung: Prof. Dr. sc. nat. Klaus-Peter Möllmann
·
Finanzierung : HBFG
und EFRE
·
Zeitpunkt: 12/05
·
Projektbeschreibung
und –ergebnisse:
Mit
der erfolgreichen Realisierung des HBFG-Projekts konnten zwei Profilometer für
die Mikrotechnologie in Betrieb genommen werden. Mit diesen modernen Geräten
ist es nun möglich, das Profil von Oberflächen mit einer Auflösung von 0,1 nm
zu vermessen. Damit gestatten diese Geräte eine moderne prozessbegleitende
Analyse in der Mikrotechnologie aber auch die Charakterisierung optischer und
nanostrukturierter Oberflächen.
19) MANO II-Mikrosystemtechnikausbildung in
Nordostdeutschland
·
Projektleitung
(Teilprojekt FHB): Prof. Dr. sc. nat. Klaus-Peter Möllmann
·
Mitarbeit:
Dipl.-Phys. N. Lutz, Dr. rer. nat. F. Pinno, S. Wolf
·
Projektträger/Partner/Finanzierung:
BMBF
·
Laufzeit: 01/06
– 12/07
·
Projektbeschreibung
und –ergebnisse:
Das BMBF fördert die Fortsetzung der
erfolgreichen MANO-Netwerkarbeit für weitere zwei Jahre. Die FH Brandenburg
arbeitet im Netzwerk aktiv mit und leitet die Arbeitsgruppe Studium und
Weiterbildung. Im Ergebnis der Projektarbeit wurde ein Angebotskatalog mit
praktischen Aus- und Weiterbildungsmodulen im Bereich Mikrotechnologie für
externe Nutzer erstellt. Die Module wurden erfolgreich im Rahmen einer
Weiterbildung für Ausbilder und Berufschullehrer (Ausbildungsberuf:
Mikrotechnologe) erprobt.
20) BMBF
Wanderausstellung „Mikrowelten“ 28.08.-15.09.2006
·
Projektleitung:
Prof. Dr. sc.
nat. Klaus-Peter Möllmann, Dipl.-Phys. N. Lutz
·
Mitarbeit:
Dipl.-Ing. (FH) T. Dorenburg, Dr. rer. nat. F. Pinno
·
Projektträger/Partner/Finanzierung:
BMBF, MANO
·
Laufzeit: 08 –
09/06
·
Projektbeschreibung
und –ergebnisse:
Drei Wochen wurde die
Wanderausstellung „Mikrowelten“ des BMBF in der Maschinenhalle des Fachbereichs
Technik gezeigt. Zahlreiche Besucher insbesondere viele Schülerinnen und
Schüler nutzten die Gelegenheit, sich über die Mikrosystemtechnik, eine der
wichtigsten Schlüsseltechnologien des 21. Jahrhunderts, zu informieren. Die
während der Ausstellung angebotenen Vorträge „Reisen die Mikrowelten“ wurden
von vielen Besuchern genutzt, um weitergehende Informationen über den Stand und
die Perspektiven der Mikrosystemtechnik zu erhalten.
·
Projektleitung:
Prof. Dr. sc.
nat. Klaus-Peter Möllmann
·
Mitarbeit:
Professoren und wiss. Mitarbeiter der Studienrichtung Physikalische Technik
·
Projektträger/Partner/Finanzierung:
DAAD
·
Laufzeit: 09/06
– 08/07
·
Projektbeschreibung und –ergebnisse:
Gemeinsam
mit der Universität Paisley wird ein dreisemestriger binationaler
Masterstudiengang „Optical and Microsystem Technologies“ (MSc.) entwickelt.
Nach dem ersten Semester an der FH Brandenburg wird das Studium im zweiten
Semester an der Universität Paisley fortgesetzt. Die Masterarbeit kann im
dritten Semester an der FH Brandenburg oder der Universität Paisley angefertigt
werden. Der akademische Grad Master of Science wird von beiden Hochschulen als
double degree verliehen. Das modularisierte Studium wird auf Tätigkeiten in forschungs- u.
entwicklungsnahen Bereichen im Grenzbereich zwischen natur- und
ingenieurwissenschaftlichen Einsatzgebieten vorbereiten. Eine Vertiefung
erfolgt in den Gebieten Mikrosystemtechnik und Optische Technologien/
Lasertechnik.
22) Rasterelektronenmikroskop
JSM-6490 mit EDX-System
·
Projektleitung: Prof. Dr. sc. nat. Klaus-Peter Möllmann
·
Finanzierung : HBFG
und EFRE, Drittmittel aus Projekten in der Physikalischen Technik
·
Zeitpunkt: 12/06
·
Projektbeschreibung
und –ergebnisse:
Mit der erfolgreichen Realisierung des HBFG-Projekts
wurde ein Rasterelektronenmikroskop der Firma Jeol im Laborbereich der
Mikrostrukturtechnik installiert. Mit seiner Auflösungsgrenze von drei
Nanometern, der Elementanalysemöglichkeit mittels energiedispersiver
Röntgenanalytik (EDX) und der Möglichkeit des Niedervakuumbetriebs zur
Untersuchung wasserhaltiger bzw. nicht-leitender Proben entspricht das neue REM
neuesten Standards. Die hervorragende Ausstattung macht den Einsatz in vielen
Bereichen möglich und qualifiziert nachhaltig die Arbeiten im Bereich der
Mikro- und Nanotechnologie an der FH Brandenburg
23) „MikroSingle“ (ProInno II-Projekt)
·
Projektleitung:
Prof. Dr. sc.
nat. Klaus-Peter Möllmann (Teilprojekt
der FHB)
·
Mitarbeit:
Dipl.-Ing.(FH) T. Dorenburg, S. Wolf
·
Projektträger/Partner/Finanzierung:
AIF/ iris GmbH Berlin, OUT e.V. Berlin / BMBF
·
Laufzeit: 01/07
– 12/08
24)
Technologiebegleitende Untersuchungen an Mikrobolometern
·
Projektleitung:
Prof. Dr. sc.
nat. Klaus-Peter Möllmann
·
Mitarbeit: Dr.
rer. nat. F. Pinno, S. Wolf
·
Projektträger/Partner/Finanzierung:
iris GmbH Berlin
·
Laufzeit: 01/07
– 12/08
25)
Spektrometrische, optische, profilometrische und elektronenmikroskopische
Untersuchungen für den Technologieprozess
·
Projektleitung:
Prof. Dr. sc.
nat. Klaus-Peter Möllmann
·
Mitarbeit: Dr.
rer. nat. F. Pinno, S. Wolf
·
Projektträger/Partner/Finanzierung:
Johanna Solar Technology GmbH, Brandenburg
·
Laufzeit: 08/07
– 12/07
26) Analytische Untersuchungen in der Entwicklung von Solarzellen
·
Projektleitung:
Prof. Dr. sc.
nat. Klaus-Peter Möllmann
·
Mitarbeit: S.
Wolf
·
Projektträger/Partner/Finanzierung:
PVflex GmbH, Fürstenwalde
·
Laufzeit: 02/08
– 12/08